1、进口真空泵的作业压强应当满意真空设备的极限真空及作业压强请求。如：真空镀膜请求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。一般挑选泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 

     2、正确地挑选真空泵的作业点。每种泵都有必定的作业压强规模，如：分散泵为10-3~10-7mmHg，在这么宽压强规模内，泵的抽速随压强而改变，其安稳的作业压强规模为5×10-4~5×10-6mmHg。因此，泵的作业点应当选在这个规模以内，而不能让它在10-8mmHg下长时间作业。又如钛提高泵能够在10-2mmHg下作业，但其作业压强应小于1×10-5mmHg为好。 

     3、进口真空泵在其作业压强下，应能排走真空设备技术进程中发生的悉数气体量。 

     4、正确地组合真空泵。因为真空泵有挑选性抽气，因此，有时选用一种泵不能满意抽气请求，需求几种泵组合起来，相互弥补才能满意抽气请求。如钛提高泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有必定的抽速，两者组合起来，便会使真空设备得到较好的真空度。别的，有的真空泵不能在大气压下作业，需求预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需求前级泵，故都需求把泵组合起来运用。 

     5、真空设备对油污染的请求。若设备严厉请求无油时，应当选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假如请求不严厉，能够挑选有油泵，加上一些防油污染办法，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洗真空请求。 

     6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒尘埃，有无腐蚀性等。挑选真空泵时，需求知道气体成分，对于被抽气体挑选相应的泵。假如气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应当思考在泵的进气口管路上装置辅助设备，如冷凝器、除尘器等。 

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